自動勻膠顯影機的工作原理是什么？有哪些特點？

　　自動勻膠顯影機是一種用于信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的工藝試驗儀器，接下來就給大家介紹一下它的工作原理及其特點，希望能夠幫助到您！
 

　　自動勻膠顯影機的工作原理：
 

　　顯影系統具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應用的要求重復進行，如沖洗(通常是去離子水或溶劑)，然后干燥(通常是氮氣)等最后的處理步驟。采用此序貫閥門技術的晶圓片和管道在*干燥的環境中開通和關閉處理過程。隔離和獨立的給水器可處在靜態的位置還可以蓋內調節。勻膠顯影機還有可選擇的動態線性或徑向滴膠的特性。
 

　　自動勻膠顯影機的產品特點：
 

　　1、該設備采用先進的單片微型機程序自動控制，顯影質量好工藝條件穩定可靠適應宜科研和生產單位大規模集成電路和其它半導體器件的光刻工藝中作顯影之用(如：硅片勻膠后的顯影)。
 

　　2、該設備顯影工藝采用了先進的噴霧方式，可根據工藝要求噴霧狀態電機的轉數，程序時間的工藝參數都可在很寬的數值范圍內調整，其程序為延時吸片、顯影、漂洗、干燥、延時復位。
 

　　3、該設備采用噴霧顯影工藝后電路圖形清晰完整，特別是對較細線條電路采用此工藝可得到很高的效果。
 

　　4、本設備除能實現顯影工藝外亦可進行人工涂膠，工藝指標與專用涂膠效果基本相同。
 

　　5、該顯影機為獨立臺式機，操作方便。